上海市集成电路行业协会六届四次会员大会在上海举办

　　最近从上海市集成电路行业协会六届四次会员大会暨上海集成电路产业发展国际高峰论坛上获得的信息显示，2023年全球集成电路产业陷入低迷，市场规模下降了8.2%。然而，与此同时，我国集成电路产业发展仍保持稳健增长。根据数据显示，2022年，我国集成电路产业的销售规模增长了2.3%。特别是，产业比重占全国22.4%的上海市表现出了极强的韧性。根据最新数据，上海市在2022年增长了6.4%，并且在今年1至4月实现了17%的增速。这一增长速度显示出了上海市在推动集成电路产业发展的决心和努力。

　　在上海集成电路产业近年的增长中，设备材料制造发挥了较大的拉动作用。去年，该产业实现29%的增长，证明产品品质通过了市场和生产的双重考验。例如，成立于2004年的中微公司，去年取得了成立以来的最佳业绩。该公司生产的刻蚀设备新增订单价值达到69.5亿元，同比增长60%。中微公司的CCP电容性高能等离子体刻蚀机和ICP电感性低能等离子体刻蚀机，能够满足国内95%以上的刻蚀应用需求。在国际先进的芯片制造客户生产线上，已有近600台中微的双反应台刻蚀设备，其中一半用于5纳米及更先进制程。这些设备在刻蚀过程中能够保证高精度和高效率，为芯片生产提供了重要的支持。

　　事实上，集成电路微观加工设备是产业真正的底座，去年以约千亿美元的产值支撑了约1万亿美元的半导体芯片制造，由此再支撑约3万亿美元的电子系统，最终带动全球约20万亿美元的软件、网络、电商、传媒、AI、自动驾驶、ChatGPT等数码智能产业上层应用。由于是产业的核心之核心，因此近年来国际集成电路产业间彼此制约与限制的举措中80%以上围绕设备进行。

　　芯片制造需要上千道工序，其中光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备及检测设备是最关键的。目前，我国在DUV和EUV光刻机、电子束检测等设备领域的自主可控程度存在“高风险”或“难以覆盖”，但刻蚀机领域与国际先进水平差距不大。如果将芯片制造比作雕刻，光刻机就是将雕刻线稿(电路图)描绘在材料(晶圆表面)上的画笔，刻蚀机则是负责剔除线稿多余部分的雕刻刀。尹志尧在论坛上介绍，中微公司的等离子体刻蚀机相当于在头发丝直径七千分之一到上万分之一的尺度上加工微观结构。一台刻蚀机每年要加工10的18次方，相当于打出百万万亿个又细又深的接触孔，并实现99.99%的均一性。

　　上海市经济和信息化委员会相关负责人士介绍，市经信委正在关注产业链中市场配置难以完全奏效的环节，并采取措施来弥补短板，推动集成电路产业进一步发展。例如，上海市成立了上海电子化学品专区，重点发展光刻胶及配套材料等，旨在到2025年与本地集成电路产业电子化学品配套率达到70%。此外，上海市还成立了中國RISC-V產業聯盟。RISC-V是第五代精簡指令集的简称，是一系列接口的標準規範，是軟件和硬件之間的一系列接口。此舉旨在引領上海市成為世界級的中国RISC-V產業中心。另外，上海市還引入瞻芯、天岳等頭部企业在臨港超前布局寬禁帶半導體即第三代半导体產業基地等，這將有助於上海市成為全球領先的第三代半導體產業中心。

　　昨天，上海大学微电子学院、嘉定区菊园新区党工委和上海微技术工业研究院党支部在菊园新区签署了共建协议，共同探索推进业务的深度融合。作为三方共建的“一号项目”，上海大学微电子学院在菊园新区成立了一个上海集成电路紧缺人才实训基地，旨在探索工业联合和产教融合的人才培养模式，为菊园新区的集成电路产业提供人才支持和保障。该实训基地将开展一系列丰富多彩的活动，包括模拟集成电路设计、嵌入式系统设计、台式电脑组装等，旨在提高学员的实践能力和团队合作精神，让他们成为集成电路产业的后备军。